I sistemi di raffreddamento ad azoto liquido sono ampiamente utilizzati nell'industria dei semiconduttori e dei chip, incluso il processo di,
- La tecnologia dell'epitassia a fasci molecolari (MBE)
- Il test del chip dopo il pacchetto COB
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EPITASSIA A FASCIO MOLECOLARE
La tecnologia dell'epitassia a fasci molecolari (MBE) è stata sviluppata negli anni '50 per preparare materiali semiconduttori a film sottile utilizzando la tecnologia dell'evaporazione sotto vuoto. Con lo sviluppo della tecnologia dell'ultra alto vuoto, l'applicazione di questa tecnologia è stata estesa al campo della scienza dei semiconduttori.
HL ha notato la richiesta di un sistema di raffreddamento ad azoto liquido MBE e ha organizzato una struttura tecnica per sviluppare con successo uno speciale sistema di raffreddamento ad azoto liquido MBE per la tecnologia MBE e un set completo di sistemi di tubazioni isolate sotto vuoto, che sono stati utilizzati in numerose aziende, università e istituti di ricerca.
I problemi comuni dell'industria dei semiconduttori e dei chip includono:
- Pressione dell'azoto liquido nelle apparecchiature terminali (MBE). Evitare che il sovraccarico di pressione danneggi le apparecchiature terminali (MBE).
- Controlli multipli di ingresso e uscita del liquido criogenico
- La temperatura dell'azoto liquido nelle apparecchiature terminali
- Una quantità ragionevole di emissioni di gas criogenici
- Commutazione (automatica) delle linee principali e secondarie
- Regolazione della pressione (riduzione) e stabilità del VIP
- Pulizia delle possibili impurità e residui di ghiaccio dal serbatoio
- Tempo di riempimento dell'attrezzatura liquida terminale
- Preraffreddamento della conduttura
- Resistenza ai liquidi nel sistema VIP
- Perdita di controllo dell'azoto liquido durante il servizio discontinuo del sistema
I tubi isolati sottovuoto (VIP) di HL sono costruiti secondo lo standard ASME B31.3 Pressure Piping. L'esperienza ingegneristica e la capacità di controllo qualità garantiscono l'efficienza e la redditività dell'impianto del cliente.
SOLUZIONI
HL Cryogenic Equipment fornisce ai clienti sistemi di tubazioni isolate sotto vuoto per soddisfare i requisiti e le condizioni dell'industria dei semiconduttori e dei chip:
1. Sistema di gestione della qualità: codice ASME B31.3 per tubazioni in pressione.
2. Uno speciale separatore di fase con ingresso e uscita multipli di liquidi criogenici con funzione di controllo automatico soddisfa i requisiti di emissione di gas, azoto liquido riciclato e temperatura dell'azoto liquido.
3. Una progettazione adeguata e tempestiva dello scarico garantisce che l'apparecchiatura terminale funzioni sempre entro il valore di pressione progettato.
4. La barriera gas-liquido viene posizionata nel tubo verticale VI all'estremità della tubazione VI. La barriera gas-liquido sfrutta il principio della tenuta a gas per bloccare il calore dall'estremità della tubazione VI alla tubazione VI, riducendo efficacemente la perdita di azoto liquido durante il servizio discontinuo e intermittente del sistema.
5. Tubazioni VI controllate dalla serie di valvole isolate sotto vuoto (VIV): tra cui valvole di intercettazione isolate sotto vuoto (pneumatiche), valvole di ritegno isolate sotto vuoto, valvole di regolazione isolate sotto vuoto, ecc. Vari tipi di VIV possono essere combinati modularmente per controllare la VIP secondo necessità. La VIV è integrata con la prefabbricazione VIP in fabbrica, senza trattamento di isolamento in loco. L'unità di tenuta della VIV può essere sostituita facilmente. (HL accetta le marche di valvole criogeniche indicate dai clienti e produce le valvole isolate sotto vuoto. Alcune marche e modelli di valvole potrebbero non essere compatibili con la produzione di valvole isolate sotto vuoto.)
6. Pulizia, se sono previsti requisiti aggiuntivi per la pulizia della superficie del tubo interno. Si consiglia ai clienti di scegliere tubi in acciaio inossidabile BA o EP come tubi interni VIP per ridurre ulteriormente le perdite di acciaio inossidabile.
7. Filtro isolato sotto vuoto: pulire il serbatoio da eventuali impurità e residui di ghiaccio.
8. Dopo alcuni giorni o periodi di fermo macchina o manutenzione più lunghi, è assolutamente necessario preraffreddare le tubazioni VI e le apparecchiature terminali prima dell'ingresso del liquido criogenico, in modo da evitare la formazione di scorie di ghiaccio dopo l'ingresso diretto del liquido criogenico nelle tubazioni VI e nelle apparecchiature terminali. La funzione di preraffreddamento deve essere considerata in fase di progettazione. Essa fornisce una migliore protezione per le apparecchiature terminali e per le apparecchiature di supporto delle tubazioni VI, come le valvole.
9. Adatto per sistemi di tubazioni con isolamento sotto vuoto (flessibili) sia dinamici che statici.
10. Sistema di tubazioni (flessibili) con isolamento dinamico sotto vuoto: composto da tubi flessibili VI e/o tubi VI, tubi di collegamento, sistema di valvole con isolamento sotto vuoto, separatori di fase e sistema di pompa per vuoto dinamico (inclusi pompe per vuoto, elettrovalvole e vacuometri, ecc.). La lunghezza del singolo tubo flessibile VI può essere personalizzata in base alle esigenze dell'utente.
11. Diversi tipi di connessione: è possibile scegliere tra connessione a baionetta sottovuoto (VBC) e connessione saldata. La connessione VBC non richiede trattamento di isolamento in loco.
