I sistemi di raffreddamento ad azoto liquido sono ampiamente utilizzati nell'industria dei semiconduttori e dei chip, compreso il processo di,
- La tecnologia dell’Epitassia a Fasci Molecolari (MBE)
- Il test del chip dopo il pacchetto COB
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EPITASSIA DA FASCIO MOLECOLARE
La tecnologia dell'epitassia a fascio molecolare (MBE) è stata sviluppata negli anni '50 per preparare materiali a film sottile semiconduttori utilizzando la tecnologia di evaporazione sotto vuoto. Con lo sviluppo della tecnologia del vuoto ultra-alto, l'applicazione della tecnologia è stata estesa al campo della scienza dei semiconduttori.
HL ha notato la richiesta del sistema di raffreddamento ad azoto liquido MBE, una struttura tecnica organizzata per sviluppare con successo uno speciale sistema di raffreddamento ad azoto liquido MBE per la tecnologia MBE e un set completo di sistemi di tubazioni isolate sotto vuoto, che è stato utilizzato in molte imprese, università e istituti di ricerca .
I problemi comuni dell'industria dei semiconduttori e dei chip includono:
- La pressione dell'azoto liquido nelle apparecchiature terminali (MBE). Prevenire il sovraccarico di pressione da danni alle apparecchiature terminali (MBE).
- Controlli multipli di ingresso e uscita del liquido criogenico
- La temperatura dell'azoto liquido nelle apparecchiature terminali
- Una quantità ragionevole di emissioni di gas criogenici
- Commutazione (automatica) delle linee principali e derivate
- Regolazione della pressione (riduzione) e stabilità del VIP
- Pulizia via eventuali impurità e residui di ghiaccio dal serbatoio
- Tempo di riempimento dell'attrezzatura terminale per liquidi
- Preraffreddamento della pipeline
- Resistenza ai liquidi nel sistema VIP
- Controllo della perdita di azoto liquido durante il servizio discontinuo del sistema
Il tubo isolato sotto vuoto (VIP) di HL è costruito secondo il codice ASME B31.3 Pressure Piping come standard. Esperienza ingegneristica e capacità di controllo qualità per garantire l'efficienza e l'economicità dell'impianto del cliente.
SOLUZIONI
HL Cryogenic Equipment fornisce ai clienti il sistema di tubazioni isolate sotto vuoto per soddisfare i requisiti e le condizioni dell'industria dei semiconduttori e dei chip:
1. Sistema di gestione della qualità: codice ASME B31.3 per tubazioni in pressione.
2.Un separatore di fase speciale con ingresso e uscita multipli di liquidi criogenici con funzione di controllo automatico soddisfa i requisiti di emissione di gas, azoto liquido riciclato e temperatura dell'azoto liquido.
3. Una progettazione adeguata e tempestiva dello scarico garantisce che l'apparecchiatura terminale funzioni sempre entro il valore di pressione progettato.
4.La barriera gas-liquido è posizionata nel tubo VI verticale all'estremità della tubazione VI. La barriera gas-liquido utilizza il principio della tenuta al gas per bloccare il calore dall'estremità della tubazione VI nella tubazione VI e ridurre efficacemente la perdita di azoto liquido durante il servizio discontinuo e intermittente del sistema.
5. Tubazioni VI controllate dalla serie VIV (valvole isolate sotto vuoto): incluse valvola di intercettazione (pneumatica) isolata sotto vuoto, valvola di ritegno isolata sotto vuoto, valvola di regolazione isolata sotto vuoto, ecc. Vari tipi di VIV possono essere combinati modularmente per controllare il VIP come necessario. VIV è integrato con la prefabbricazione VIP nel produttore, senza trattamento di isolamento in loco. L'unità di tenuta del VIV può essere sostituita facilmente. (HL accetta il marchio di valvole criogeniche designato dai clienti e quindi produce valvole isolate sotto vuoto da HL. Alcune marche e modelli di valvole potrebbero non essere trasformabili in valvole isolate sotto vuoto.)
6.Pulizia, se vi sono requisiti aggiuntivi per la pulizia della superficie della camera d'aria. Si suggerisce ai clienti di scegliere tubi in acciaio inossidabile BA o EP come tubi interni VIP per ridurre ulteriormente le fuoriuscite di acciaio inossidabile.
7.Filtro isolato sotto vuoto: pulire il serbatoio da possibili impurità e residui di ghiaccio.
8. Dopo alcuni giorni o più di arresto o manutenzione, è estremamente necessario preraffreddare le tubazioni VI e l'apparecchiatura terminale prima che venga inserito il liquido criogenico, in modo da evitare scorie di ghiaccio dopo che il liquido criogenico è entrato direttamente nelle tubazioni VI e nell'apparecchiatura terminale. La funzione di preraffreddamento dovrebbe essere considerata nella progettazione. Fornisce una migliore protezione per le apparecchiature terminali e le apparecchiature di supporto delle tubazioni VI, come le valvole.
9.Adatto per sistemi di tubazioni (flessibili) isolati sotto vuoto dinamico e statico.
10. Sistema di tubazioni (flessibili) isolate sotto vuoto dinamico: costituito da tubi flessibili VI e/o tubi VI, tubi flessibili di collegamento, sistema di valvole isolate sotto vuoto, separatori di fase e sistema di pompe per vuoto dinamiche (incluse pompe per vuoto, elettrovalvole e vacuometri ecc. ). La lunghezza del singolo tubo flessibile VI può essere personalizzata in base alle esigenze dell'utente.
11.Vari tipi di connessione: È possibile selezionare il tipo di connessione a baionetta per vuoto (VBC) e la connessione saldata. I tipi VBC non necessitano di trattamento di coibentazione in cantiere.
