I sistemi di raffreddamento dell'azoto liquido sono ampiamente utilizzati nel settore dei semiconduttori e dei chip, incluso il processo di,
- La tecnologia dell'epitassia del raggio molecolare (MBE)
- Il test del chip dopo il pacchetto di pannocchia
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Epitassia del raggio molecolare
La tecnologia dell'epitassia del raggio molecolare (MBE) è stata sviluppata negli anni '50 per preparare materiali a film sottile a semiconduttore utilizzando la tecnologia di evaporazione del vuoto. Con lo sviluppo della tecnologia del vuoto ultra-alta, l'applicazione della tecnologia è stata estesa al campo della scienza dei semiconduttori.
HL ha notato la domanda del sistema di raffreddamento azoto liquido MBE, la spina dorsale tecnica organizzata per sviluppare con successo uno speciale sistema di coo di coo di azoto liquido MBE per la tecnologia MBE e un set completo di sistema di tubazioni isolate a vuoto, che è stato utilizzato in molte imprese, università e istituti di ricerca .
I problemi comuni dell'industria dei semiconduttori e dei chip includono,
- La pressione dell'azoto liquido in apparecchiatura terminale (MBE). Impedire il sovraccarico di pressione dall'apparecchiatura del terminale dannoso (MBE).
- Controlli multipli di ingresso liquido e outlet
- La temperatura dell'azoto liquido in apparecchiature terminali
- Una ragionevole quantità di emissioni di gas criogenico
- (Automatico) commutazione delle linee principali e di ramo
- Regolazione della pressione (riduzione) e stabilità di VIP
- Pulire le possibili impurità e residui di ghiaccio dal serbatoio
- Tempo di riempimento dell'attrezzatura liquida terminale
- Pipeline Precooling
- Resistenza liquida nel sistema VIP
- Controllare la perdita di azoto liquido durante il servizio discontinuo del sistema
Il tubo isolato a vuoto di HL (VIP) è costruito sul codice delle tubazioni di pressione ASME B31.3 come standard. Esperienza ingegneristica e capacità di controllo della qualità per garantire l'efficienza e il rapporto costo-efficacia dell'impianto del cliente.
Soluzioni
L'attrezzatura criogenica HL fornisce ai clienti il sistema di tubazioni isolate a vuoto per soddisfare i requisiti e le condizioni dell'industria dei semiconduttori e dei chip:
1. Sistema di gestione della qualità: Codice delle tubazioni di pressione ASME B31.3.
2. Un separatore di fase speciale con ingresso e uscita liquido criogenico multiplo con funzione di controllo automatico soddisfa il requisito di emissione di gas, azoto liquido riciclato e temperatura di azoto liquido.
3. Lo scarico adeguato e tempestivo garantisce che l'attrezzatura terminale funzioni sempre all'interno del valore di pressione progettato.
4.La barriera gas-liquid è posizionata nel tubo VI verticale alla fine del gasdotto VI. La barriera del gas-liquido utilizza il principio del sigillo del gas per bloccare il calore dall'estremità della tubazione VI nelle tubazioni VI e ridurre efficacemente la perdita di azoto liquido durante il servizio discontinuo e intermittente del sistema.
5.VI Tubazioni controllate dalla serie Valvola isolata del vuoto (VIV): inclusa la valvola di spegnimento isolata dal vuoto (pneumatico), valvola di ritegno isolato a vuoto, valvola di regolazione isolata a vuoto ecc. Vari tipi di VIV possono essere combinati modulari per controllare il VIP AS necessario. VIV è integrato con la prefabbricazione VIP nel produttore, senza trattamento isolato in loco. L'unità di tenuta di VIV può essere sostituita facilmente. (HL accetta il marchio delle valvole criogeniche designato dai clienti, quindi produce valvole isolate a vuoto da HL. Alcuni marchi e modelli di valvole potrebbero non essere in grado di essere trasformati in valvole isolate a vuoto.)
6. Cleanità, se ci sono requisiti aggiuntivi per la pulizia della superficie della metropolitana interna. Si suggerisce che i clienti scelgano i tubi BA o EP in acciaio inossidabile come tubi interni VIP per ridurre ulteriormente la fuoriuscita di acciaio inossidabile.
7. Filtro isolato avacuum: pulire le possibili impurità e residui di ghiaccio dal serbatoio.
8. Dopo qualche giorno o più arresto o manutenzione, è molto necessario pre -prevedere le tubazioni VI e le apparecchiature terminali prima che venga inserito il liquido criogenico, in modo da evitare scorie di ghiaccio dopo che il liquido criogenico entra direttamente nelle tubazioni VI e nell'apparecchiatura terminale. La funzione precool dovrebbe essere considerata nella progettazione. Fornisce una migliore protezione per le apparecchiature terminali e le apparecchiature di supporto per tubazioni VI come le valvole.
9.Suit per sistema di tubazioni isolato a vuoto (flessibile) sia dinamico che statico.
10. Sistema di tubazioni isolato a vuoto (flessibile): costituito da tubi flessibili VI e/o tubo VI, tubi da jumper, sistema di valvole isolati a vuoto, separatori di fase e sistema dinamico delle pompe per vuoto (comprese le pompe per vuoto, le valvole del solenoide e le misurazioni del vuoto ecc. ). La lunghezza del tubo flessibile singolo VI può essere personalizzata in base ai requisiti dell'utente.
11. Veridi tipi di connessione: è possibile selezionare il tipo di connessione a baionetta a vuoto (VBC) e la connessione saldata. Il tipo VBC non ha bisogno di un trattamento isolato in loco.
