Custodie e soluzioni per semiconduttori e chip

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I sistemi di raffreddamento ad azoto liquido sono ampiamente utilizzati nell'industria dei semiconduttori e dei chip, compreso il processo di,

  • La tecnologia dell'epitassia a fasci molecolari (MBE)
  • Il test del chip dopo il pacchetto COB

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EPITAXY DEL FASCIO MOLECOLARE

La tecnologia dell'epitassia a fascio molecolare (MBE) è stata sviluppata negli anni '50 per preparare materiali semiconduttori a film sottile utilizzando la tecnologia dell'evaporazione sotto vuoto.Con lo sviluppo della tecnologia del vuoto ultra alto, l'applicazione della tecnologia è stata estesa al campo della scienza dei semiconduttori.

HL ha notato la richiesta del sistema di raffreddamento ad azoto liquido MBE, la struttura tecnica organizzata per sviluppare con successo uno speciale sistema di raffreddamento ad azoto liquido MBE per la tecnologia MBE e un set completo di sistemi di tubazioni isolati sottovuoto, che è stato utilizzato in molte imprese, università e istituti di ricerca .

I problemi comuni dell'industria dei semiconduttori e dei chip includono,

  • La pressione dell'azoto liquido nelle apparecchiature terminali (MBE).Prevenire il sovraccarico di pressione da danni alle apparecchiature del terminale (MBE).
  • Controlli multipli di ingresso e uscita del liquido criogenico
  • La temperatura dell'azoto liquido nelle apparecchiature terminali
  • Una quantità ragionevole di emissioni di gas criogenico
  • Commutazione (automatica) di linee principali e derivate
  • Regolazione della pressione (riduzione) e stabilità del VIP
  • Eliminare eventuali impurità e residui di ghiaccio dal serbatoio
  • Tempo di riempimento dell'apparecchiatura liquida terminale
  • Preraffreddamento della condotta
  • Resistenza ai liquidi nel sistema VIP
  • Controllo della perdita di azoto liquido durante il servizio discontinuo del sistema

Il tubo isolato sottovuoto (VIP) di HL è costruito come standard secondo il codice delle tubazioni a pressione ASME B31.3.Esperienza ingegneristica e capacità di controllo qualità per garantire l'efficienza e l'economicità dell'impianto del cliente.

SOLUZIONI

HL Cryogenic Equipment fornisce ai clienti il ​​sistema di tubazioni con isolamento sotto vuoto per soddisfare i requisiti e le condizioni dell'industria dei semiconduttori e dei chip:

1. Sistema di gestione della qualità: codice ASME B31.3 tubazioni in pressione.

2.Un separatore di fase speciale con ingresso e uscita liquidi criogenici multipli con funzione di controllo automatico soddisfa i requisiti di emissione di gas, azoto liquido riciclato e temperatura dell'azoto liquido.

3. Un design di scarico adeguato e tempestivo garantisce che l'apparecchiatura terminale funzioni sempre entro il valore di pressione progettato.

4. La barriera gas-liquido è posizionata nel tubo VI verticale all'estremità del gasdotto VI.La barriera gas-liquido utilizza il principio della tenuta a gas per bloccare il calore dall'estremità della conduttura VI alle tubazioni VI e ridurre efficacemente la perdita di azoto liquido durante il servizio discontinuo e intermittente del sistema.

5. Tubazioni VI controllate dalla serie di valvole isolate per vuoto (VIV): comprese valvole di intercettazione (pneumatiche) isolate per vuoto, valvole di ritegno isolate per vuoto, valvole di regolazione isolate per vuoto, ecc. Vari tipi di VIV possono essere combinati in modo modulare per controllare il VIP come necessario.VIV è integrato con la prefabbricazione VIP in fabbrica, senza trattamento coibentato in loco.L'unità di tenuta di VIV può essere sostituita facilmente.(HL accetta il marchio della valvola criogenica designato dai clienti, quindi produce valvole isolate per vuoto da HL. Alcune marche e modelli di valvole potrebbero non essere trasformabili in valvole isolate per vuoto.)

6.Pulizia, se ci sono requisiti aggiuntivi per la pulizia della superficie della camera d'aria.Si suggerisce ai clienti di scegliere tubi in acciaio inossidabile BA o EP come tubi interni VIP per ridurre ulteriormente le fuoriuscite di acciaio inossidabile.

7.Filtro con isolamento sottovuoto: pulire il serbatoio da eventuali impurità e residui di ghiaccio.

8. Dopo alcuni giorni o più di spegnimento o manutenzione, è molto necessario preraffreddare le tubazioni VI e l'apparecchiatura terminale prima che il liquido criogenico entri, in modo da evitare scorie di ghiaccio dopo che il liquido criogenico entra direttamente nelle tubazioni VI e nell'apparecchiatura terminale.La funzione di preraffreddamento dovrebbe essere considerata nella progettazione.Fornisce una migliore protezione per le apparecchiature terminali e le apparecchiature di supporto delle tubazioni VI come le valvole.

9. Tuta per sistema di tubazioni (flessibile) isolato sotto vuoto dinamico e statico.

10. Sistema di tubazioni (flessibili) con isolamento sotto vuoto dinamico: costituito da tubi flessibili VI e/o tubo VI, tubi jumper, sistema di valvole isolate sotto vuoto, separatori di fase e sistema di pompa a vuoto dinamico (incluse pompe per vuoto, elettrovalvole e vacuometri ecc. ).La lunghezza del singolo tubo flessibile VI può essere personalizzata in base alle esigenze dell'utente.

11.Vari tipi di connessione: è possibile selezionare il tipo di connessione a baionetta per vuoto (VBC) e la connessione saldata.Il tipo VBC non necessita di trattamento coibentato in loco.