I sistemi di raffreddamento ad azoto liquido sono ampiamente utilizzati nell'industria dei semiconduttori e dei chip, compreso il processo di,
- La tecnologia dell'epitassia a fascio molecolare (MBE)
- Test del chip dopo l'incapsulamento COB
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EPITASSI A FASCIO MOLECOLARE
La tecnologia dell'epitassia a fascio molecolare (MBE) è stata sviluppata negli anni '50 per la preparazione di film sottili di materiali semiconduttori mediante evaporazione sotto vuoto. Con lo sviluppo della tecnologia del vuoto ultra-spinto, l'applicazione di questa tecnologia si è estesa al campo della scienza dei semiconduttori.
HL ha notato la domanda di sistemi di raffreddamento ad azoto liquido per MBE e ha organizzato l'infrastruttura tecnica necessaria per sviluppare con successo uno specifico sistema di raffreddamento ad azoto liquido per la tecnologia MBE, completo di un sistema di tubazioni isolate sottovuoto, che è stato utilizzato in numerose aziende, università e istituti di ricerca.
I problemi comuni dell'industria dei semiconduttori e dei chip includono:
- Pressione dell'azoto liquido nelle apparecchiature del terminale (MBE). Prevenire che il sovraccarico di pressione danneggi le apparecchiature del terminale (MBE).
- Controllo multiplo dell'ingresso e dell'uscita del liquido criogenico
- La temperatura dell'azoto liquido nelle apparecchiature terminali
- Una quantità ragionevole di emissioni di gas criogenici
- Commutazione (automatica) delle linee principali e delle linee secondarie.
- Regolazione (riduzione) della pressione e stabilità del VIP
- Pulizia del serbatoio per rimuovere eventuali impurità e residui di ghiaccio.
- Tempo di riempimento dell'apparecchiatura terminale per liquidi
- Preraffreddamento della tubazione
- Resistenza dei liquidi nel sistema VIP
- Controllo della perdita di azoto liquido durante il servizio discontinuo del sistema
Le tubazioni isolate sottovuoto (VIP) di HL sono realizzate secondo lo standard ASME B31.3 per le tubazioni in pressione. L'esperienza ingegneristica e la capacità di controllo qualità garantiscono l'efficienza e la convenienza economica dell'impianto del cliente.
SOLUZIONI
HL Cryogenic Equipment fornisce ai propri clienti sistemi di tubazioni isolate sottovuoto per soddisfare i requisiti e le condizioni dell'industria dei semiconduttori e dei chip:
1. Sistema di gestione della qualità: Codice ASME B31.3 per le tubazioni in pressione.
2. Un separatore di fase speciale con ingressi e uscite multiple per liquidi criogenici e funzione di controllo automatico soddisfa i requisiti relativi alle emissioni di gas, al riciclo dell'azoto liquido e alla temperatura dell'azoto liquido.
3. Una progettazione adeguata e tempestiva del sistema di scarico garantisce che le apparecchiature del terminale funzionino sempre entro i valori di pressione previsti.
4. La barriera gas-liquido è posizionata nel tubo verticale VI all'estremità della tubazione VI. La barriera gas-liquido utilizza il principio della tenuta del gas per bloccare il calore dall'estremità della tubazione VI verso la tubazione VI, riducendo efficacemente la perdita di azoto liquido durante il funzionamento discontinuo e intermittente del sistema.
5. Tubazioni VI controllate dalla serie di valvole isolate sottovuoto (VIV): comprende valvole di intercettazione (pneumatiche) isolate sottovuoto, valvole di ritegno isolate sottovuoto, valvole di regolazione isolate sottovuoto, ecc. Vari tipi di VIV possono essere combinati in modo modulare per controllare il VIP secondo necessità. La VIV è integrata con la prefabbricazione del VIP in fabbrica, senza trattamento di isolamento in loco. L'unità di tenuta della VIV può essere sostituita facilmente. (HL accetta la marca di valvole criogeniche indicata dai clienti e quindi realizza valvole isolate sottovuoto da HL. Alcune marche e modelli di valvole potrebbero non essere adatti alla realizzazione di valvole isolate sottovuoto.)
6. Pulizia: se sono previsti requisiti aggiuntivi per la pulizia della superficie del tubo interno, si consiglia ai clienti di scegliere tubi in acciaio inox BA o EP come tubi interni VIP per ridurre ulteriormente la fuoriuscita di acciaio inox.
7. Filtro isolato sottovuoto: rimuove eventuali impurità e residui di ghiaccio dal serbatoio.
8. Dopo alcuni giorni o periodi più lunghi di fermo o manutenzione, è assolutamente necessario preraffreddare le tubazioni VI e le apparecchiature terminali prima dell'ingresso del liquido criogenico, al fine di evitare la formazione di ghiaccio e scorie dopo l'ingresso diretto del liquido criogenico nelle tubazioni VI e nelle apparecchiature terminali. La funzione di preraffreddamento deve essere considerata in fase di progettazione. Essa offre una migliore protezione per le apparecchiature terminali e le apparecchiature di supporto delle tubazioni VI, come le valvole.
9. Adatto sia per sistemi di tubazioni flessibili (con isolamento sottovuoto) dinamici che statici.
10. Sistema di tubazioni dinamico isolato sottovuoto (flessibile): composto da tubi flessibili VI e/o tubi VI, tubi di raccordo, sistema di valvole isolate sottovuoto, separatori di fase e sistema di pompe per vuoto dinamico (incluse pompe per vuoto, elettrovalvole e vacuometri, ecc.). La lunghezza del singolo tubo flessibile VI può essere personalizzata in base alle esigenze dell'utente.
11. Vari tipi di connessione: è possibile scegliere tra connessione a baionetta sottovuoto (VBC) e connessione saldata. Il tipo VBC non necessita di trattamento isolante in loco.
