Tecnologia
L'epitassia a fascio molecolare, o MBE, è una nuova tecnica per la crescita di film sottili di cristalli di alta qualità su substrati cristallini. In condizioni di ultra-alto vuoto, la stufa di riscaldamento è dotata di tutti i componenti necessari e genera vapore, attraverso i fori formati dopo la collimazione del fascio atomico o molecolare, l'iniezione diretta alla temperatura appropriata del substrato monocristallino, controllando contemporaneamente il fascio molecolare per la scansione del substrato, può far sì che le molecole o gli atomi negli strati di allineamento cristallino formino un film sottile sul substrato in fase di "crescita".
Per il normale funzionamento delle apparecchiature MBE, è necessario un trasporto continuo e stabile di azoto liquido ad alta purezza, bassa pressione e ultrapuro nella camera di raffreddamento dell'apparecchiatura. In generale, un serbatoio che fornisce azoto liquido ha una pressione di uscita compresa tra 0,3 MPa e 0,8 MPa. L'azoto liquido a -196 °C viene facilmente vaporizzato in azoto durante il trasporto nella tubazione. Una volta che l'azoto liquido con un rapporto gas-liquido di circa 1:700 viene gassificato nella tubazione, occuperà una grande quantità di spazio per il flusso di azoto liquido, riducendone la portata normale alla fine della tubazione. Inoltre, nel serbatoio di stoccaggio dell'azoto liquido è probabile che siano presenti detriti non puliti. Nella tubazione dell'azoto liquido, la presenza di aria umida porterà anche alla formazione di scorie di ghiaccio. Se queste impurità vengono scaricate nell'apparecchiatura, ne causeranno danni imprevedibili.
Pertanto, l'azoto liquido nel serbatoio di stoccaggio esterno viene trasportato all'attrezzatura MBE in un'officina priva di polvere con elevata efficienza, stabilità e pulizia, e la bassa pressione, senza azoto, senza impurità, 24 ore ininterrotte, tale sistema di controllo del trasporto è un prodotto qualificato.



Attrezzatura MBE corrispondente
Dal 2005, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ha ottimizzato e migliorato questo sistema e collaborato con produttori internazionali di apparecchiature MBE. I produttori di apparecchiature MBE, tra cui DCA e REBER, intrattengono rapporti di collaborazione con la nostra azienda. I produttori di apparecchiature MBE, tra cui DCA e REBER, hanno collaborato a numerosi progetti.
Riber SA è un fornitore leader a livello mondiale di prodotti per epitassia a fascio molecolare (MBE) e servizi correlati per la ricerca sui semiconduttori composti e per applicazioni industriali. Il dispositivo MBE di Riber può depositare strati molto sottili di materiale sul substrato, con controlli molto elevati. L'apparecchiatura da vuoto di HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) è dotata di Riber SA. L'apparecchiatura più grande è Riber 6000 e la più piccola è Compact 21. È in buone condizioni ed è stata apprezzata dai clienti.
DCA è leader mondiale nel settore MBE a ossidi. Dal 1993, è stato condotto uno sviluppo sistematico di tecniche di ossidazione, riscaldamento di substrati antiossidanti e fonti di antiossidanti. Per questo motivo, molti laboratori leader hanno scelto la tecnologia a ossidi DCA. I sistemi MBE a semiconduttore composito sono utilizzati in tutto il mondo. Il sistema di circolazione di azoto liquido VJ di HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) e le apparecchiature MBE di diversi modelli DCA vantano un'esperienza consolidata in numerosi progetti, come i modelli P600, R450, SGC800 ecc.

Tabella delle prestazioni
Istituto di fisica tecnica di Shanghai, Accademia cinese delle scienze |
L'undicesimo istituto della China Electronics Technology Corporation |
Istituto dei semiconduttori, Accademia cinese delle scienze |
Huawei |
Alibaba DAMO Academy |
Powertech Technology Inc. |
Delta Electronics Inc. |
Suzhou Everbright Photonics |
Data di pubblicazione: 26 maggio 2021