Tecnologia
L'epitassia a fascio molecolare, o MBE, è una nuova tecnica per la crescita di film sottili di cristalli di alta qualità su substrati cristallini. In condizioni di vuoto ultra elevato, la stufa è dotata di tutti i tipi di componenti richiesti e genera vapore, attraverso i fori formati dopo la collimazione del fascio atomico o molecolare, l'iniezione diretta alla temperatura appropriata del substrato monocristallino, controllando il fascio molecolare per la scansione del substrato allo stesso tempo, può far sì che le molecole o gli atomi negli strati di allineamento cristallino formino una pellicola sottile su una "crescita" del substrato.
Per il normale funzionamento delle apparecchiature MBE, è necessario che l'azoto liquido ultrapuro, a elevata purezza e a bassa pressione venga trasportato in modo continuo e stabile nella camera di raffreddamento dell'apparecchiatura. In generale, un serbatoio che fornisce azoto liquido ha una pressione di uscita compresa tra 0,3 MPa e 0,8 MPa. L'azoto liquido a -196 ℃ viene facilmente vaporizzato in azoto durante il trasporto nelle tubazioni. Una volta gassificato nella tubazione, l'azoto liquido con un rapporto gas-liquido di circa 1:700 occuperà una grande quantità di spazio per il flusso dell'azoto liquido e ridurrà il flusso normale all'estremità della tubazione dell'azoto liquido. Inoltre, nel serbatoio di stoccaggio dell'azoto liquido è probabile che siano presenti detriti non puliti. Nella tubazione dell'azoto liquido, la presenza di aria umida porterà anche alla generazione di scorie di ghiaccio. Se queste impurità vengono scaricate nell'apparecchiatura, ciò causerà danni imprevedibili all'apparecchiatura.
Pertanto, l'azoto liquido nel serbatoio di stoccaggio esterno viene trasportato all'attrezzatura MBE nell'officina priva di polvere con alta efficienza, stabilità e pulizia, e la bassa pressione, senza azoto, senza impurità, 24 ore ininterrotte, tale sistema di controllo del trasporto è un prodotto qualificato.
Attrezzatura MBE abbinata
Dal 2005, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ottimizza e migliora questo sistema e collabora con produttori internazionali di apparecchiature MBE. I produttori di apparecchiature MBE, tra cui DCA, REBER, intrattengono rapporti di collaborazione con la nostra azienda. I produttori di apparecchiature MBE, tra cui DCA e REBER, hanno collaborato a un gran numero di progetti.
Riber SA è un fornitore leader a livello mondiale di prodotti per l'epitassia a fascio molecolare (MBE) e servizi correlati per la ricerca sui semiconduttori composti e le applicazioni industriali. Il dispositivo Riber MBE può depositare strati molto sottili di materiale sul substrato, con controlli molto elevati. L'attrezzatura per il vuoto di HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) è equipaggiata con Riber SA. L'attrezzatura più grande è Riber 6000 e la più piccola è Compact 21. È in buone condizioni ed è stata riconosciuta dai clienti.
DCA è l'ossido MBE leader a livello mondiale. Dal 1993 è stato effettuato lo sviluppo sistematico di tecniche di ossidazione, riscaldamento del substrato antiossidante e fonti di antiossidanti. Per questo motivo, molti laboratori leader hanno scelto la tecnologia dell'ossido DCA. I sistemi MBE a semiconduttori compositi sono utilizzati in tutto il mondo. Il sistema di circolazione dell'azoto liquido VJ dell'apparecchiatura criogenica HL (HL CRYO) e l'apparecchiatura MBE di più modelli DCA hanno l'esperienza corrispondente in molti progetti, come il modello P600, R450, SGC800 ecc.
Tabella delle prestazioni
Istituto di Fisica Tecnica di Shanghai, Accademia Cinese delle Scienze |
L'undicesimo istituto della China Electronics Technology Corporation |
Istituto di Semiconduttori, Accademia Cinese delle Scienze |
Huawei |
Alibaba DAMO Academy |
PowerTech Technology Inc. |
Delta Electronics Inc. |
Fotonica Everbright di Suzhou |
Orario di pubblicazione: 26 maggio 2021