Progetti Chip MBE completati negli anni passati

Tecnologia

L'epitassia a fascio molecolare, o MBE, è una nuova tecnica per la crescita di film sottili di cristalli di alta qualità su substrati cristallini. In condizioni di ultra-alto vuoto, tramite un forno di riscaldamento dotato di tutti i componenti necessari e generando vapore, attraverso fori formati dopo la collimazione del fascio atomico o molecolare, si inietta direttamente il substrato monocristallino alla temperatura appropriata, controllando contemporaneamente la scansione del substrato con il fascio molecolare. In questo modo, le molecole o gli atomi si allineano negli strati cristallini per formare un film sottile sul substrato.

Per il normale funzionamento delle apparecchiature MBE, è necessario che azoto liquido ad elevata purezza, bassa pressione e ultra-pulito venga trasportato in modo continuo e stabile alla camera di raffreddamento dell'apparecchiatura. In genere, un serbatoio che fornisce azoto liquido ha una pressione di uscita compresa tra 0,3 MPa e 0,8 MPa. L'azoto liquido a -196 °C vaporizza facilmente in azoto durante il trasporto tramite tubazione. Una volta che l'azoto liquido con un rapporto gas-liquido di circa 1:700 si gassifica nella tubazione, occuperà una grande quantità di spazio di flusso dell'azoto liquido e ridurrà il normale flusso all'estremità della tubazione. Inoltre, nel serbatoio di stoccaggio dell'azoto liquido potrebbero essere presenti residui non rimossi. La presenza di aria umida nella tubazione dell'azoto liquido può anche portare alla formazione di ghiaccio e scorie. Se queste impurità vengono scaricate nell'apparecchiatura, possono causare danni imprevedibili.

Pertanto, l'azoto liquido nel serbatoio di stoccaggio esterno viene trasportato all'apparecchiatura MBE nell'officina priva di polvere con elevata efficienza, stabilità e pulizia, a bassa pressione, senza azoto, senza impurità, 24 ore su 24, tale sistema di controllo del trasporto è un prodotto qualificato.

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Apparecchiature MBE corrispondenti

Dal 2005, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) si dedica all'ottimizzazione e al miglioramento di questo sistema, collaborando con produttori internazionali di apparecchiature MBE. Aziende produttrici di apparecchiature MBE, tra cui DCA e REBER, intrattengono rapporti di collaborazione con la nostra azienda, avendo lavorato insieme a numerosi progetti.

Riber SA è un fornitore leader a livello globale di prodotti e servizi correlati per l'epitassia a fascio molecolare (MBE) destinati alla ricerca sui semiconduttori composti e alle applicazioni industriali. Il dispositivo MBE di Riber è in grado di depositare strati sottilissimi di materiale sul substrato, con un controllo estremamente preciso. L'impianto per il vuoto di HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) è dotato di apparecchiature Riber SA. Il modello più grande è il Riber 6000, mentre il più piccolo è il Compact 21. L'impianto è in ottime condizioni e ha riscosso grande successo tra i clienti.

DCA è leader mondiale nel settore dell'MBE per ossidi. Dal 1993, l'azienda ha sviluppato sistematicamente tecniche di ossidazione, riscaldamento del substrato antiossidante e fonti di antiossidanti. Per questo motivo, molti laboratori di riferimento hanno scelto la tecnologia per ossidi di DCA. I sistemi MBE per semiconduttori compositi sono utilizzati in tutto il mondo. Il sistema di circolazione di azoto liquido VJ di HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) e le apparecchiature MBE di diversi modelli di DCA, come ad esempio i modelli P600, R450, SGC800, ecc., vantano una comprovata integrazione in numerosi progetti.

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Tabella delle prestazioni

Istituto di Fisica Tecnica di Shanghai, Accademia Cinese delle Scienze
L'undicesimo Istituto della China Electronics Technology Corporation
Istituto dei semiconduttori, Accademia cinese delle scienze
Huawei
Alibaba DAMO Academy
Powertech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Photonics

Data di pubblicazione: 26 maggio 2021